ASTAR TEM晶体取向和相分布分析系统

ASTAR TEM晶体取向和相分布分析系统

添加时间:2017-09-21 14:36:00

- 在透射电镜上实现类似于SEM-EBSD的功能,以纳米分辨率分析晶体取向和相分布;

- 空间分辨率达1nm(场发射TEM)10nm(LaB6 TEM);

- 晶体取向分辨率1°;

- 适合所有晶系和各种样品,适合于变形(大应变)晶体;

- 在旋进电子衍射平台上获得精确的晶体取向和相分布图;

- 对非晶相及其分布进行分析;

- 晶界分析、晶粒度分析、孪晶分析;

- 适合所有型号的透射电镜,无需STEM附件。


SEM-EBSD的局限性

- 扫描电镜EBSD的空间分辨率: 100nm数量级

- EBSD分析决定于样品表面产生的菊池线花样

    1)  样品制备非常苛刻

    2) 不导电样品: 样品处理困难, 或需要低真空/环境扫描电镜

    3) 很多材料和晶体状态(如大形变状态等)根本无法形成菊池线花样或正常的可标定菊池线花样


NanoMEGAS 基于TEM旋进电子衍射花样的技术方案:ASTAR

 ASTAR系统通过旋进电子衍射控制器控制TEM电子束的旋进和扫描,对样品上感兴趣的区域进行分析,获得区域面扫描的一系列旋进电子衍射花样(如200x200点),通过ASTAR的算法对每一点衍射花样进行识别,确定和鉴定这一点的晶体取向和相,从而最终得到区域内的晶体取向分布和相分布图。

由于旋进电子衍射花样的准运动学特点,基于斑点几何位置和斑点强度,可以识别和鉴定各种晶系的晶体结构,即使晶粒处于应变状态也可以正常分析。

此外,最新版的ASTAR软件还可以对纳米尺度的非晶相区域进行分析。



上一个:DigiSTAR/ADT-3D TEM旋进电子衍射和电子衍射三维重构分析系统

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