扫描发生器
技术先进的扫描发生器，可在电子显微镜上进行高度定制化的STEM扫描，如高达5千万像素的随机扫描。
该扫描发生器也可以应用于FIB等设备上实现用户定制的离子束或电子束扫描。
该扫描发生器也可以应用于FIB等设备上实现用户定制的离子束或电子束扫描。
关键技术参数
- 2 个可编程输出，范围 ±10 V
- 实现任意稀疏成像，减少电子束对样品的损坏
- 6个视频输入端口
- 8个TTL同步信号输出端口
使用扫描发生器和 MerlinEELS 检测器进行实时漂移校正
在此，我们介绍Marcel Tence等人的关于实时 EELS高光谱成像的工作。利用高速采集和无噪声读出的特点，该工作将Quantum Detectors的扫描发生器与MerlinEELS直接电子探测器结合。该探测器能够按顺序记录高光谱图像，同时调整每个谱间的扫描区域以保持在样品的同一区域。为了实现这一目标，该组使用与EELS 高光谱图像同时采集的连续 HAADF 图像之间的互相关性来估计每次扫描期间发生的漂移。
这种方法不需要单独定义的漂移计算图像（是目前较为常用的方法）。但这方法有时也会带来困难，因为合适的区域并不总是可用。
图 1 显示了 ScDyO3晶体上未经漂移校正的传统高光谱采集的 HAADF 图像以及Sc- L边（约 400 eV）和Dy- M边（约 1300 eV）信号的元素图。驻留时间为 20 毫秒，总采集时间为 444 秒。结果显示样品发生了相当大的漂移，导致图像扭曲。
图 2 显示了使用他们的方法与Quantum Detectors扫描发生器的结果。 在此，从同一区域收集了100 张高光谱采集数据并进行求和，每个采集数据的标称像素停留时间为200 μs。因此，总信号采集时间与图1中的相同，并且计数级别相似。然而，生成的图像和地图基本上没有漂移失真。该方法是EELS 高光谱成像的改进方向。
扫描发生器的特点
- 使用最大5千万像素的位置表生成任意扫描，来最大程度地减少电子束对易损样品的损坏
- 生成用于STEM成像或EELS高光谱成像的传统光栅扫描
- 多达6个视频通道，可选择其中2个用作外部扫描输入
- 最多6个事件源作为数据通道
