DigiSTAR/ADT-3D TEM旋进电子衍射和电子衍射三维重构分析系统

技术挑战

纳米尺度晶体的晶体结构分析面临三个物理和应用难题

NanoMEGAS 解决方案

透射电镜旋进电子衍射和电子衍射花样三维重构分析方法

透射电镜是目前纳米晶体分析的最佳仪器平台。旋进电子衍射方法可以在几个纳米到几百纳米电子束斑下，得到接近于其运动学强度的电子衍射花样。在旋进电子衍射工作模式下， 通过倾斜样品，获得序列倾角下的电子衍射花样，组成一套数据。使用ADT-3D 对这套数据进行电子衍射空间的三维重构，即可以获得纳米晶体的单胞参数、特殊晶体结构信息，进一步地，可导出整套衍射斑点的强度，使用成熟的晶体学理论进行分析。

主要技术参数：

DigiSTAR数字化旋进电子衍射控制器

- 适合于任意120-200-300kV透射电镜; 

- 电子束的旋进和扫描不依赖于电镜STEM附件;

- 电子束旋进倾角范围0 – 3°;

- 电子束旋进频率：典型值为100Hz；

- 旋进电子衍射适合于平行光模式和会聚束模式, 束斑尺寸范围300~10nm (LaB₆)或300~1nm(场发射);

- 通过控制软件实现对旋进电子束斑点校正，得到接近于圆点的旋进束斑;

- 电子束的旋进和去扫描控制可以单独控制和微调;

- 旋进电子衍射控制器的各种参数设置可存储并随时调用；

- 旋进电子衍射控制器关闭后对电镜的所有参数均不产生影响。

ADT-3D电子衍射花样三维重构分析系统

- 对序列旋进电子衍射花样进行三维倒易空间重构；

- 确定晶体的单胞参数(精度达2-3%)；

- 对特殊晶体结构(如孪晶和位错)进行分析；

- 对每个衍射斑点自动指标化并提取出其强度，然后可使用现有的晶体学软件进行晶体学分析。