Model 1040 NanoMill 纳米减薄仪

Model 1040 NanoMill 纳米减薄仪

添加时间:2015-03-25 12:47:00

1.       最高质量的TEM样品制备系统。样品制备过程无离子注入、无二次沉积、无非晶化层,从而彻底消除样品假象。

2.       特别适合FIB初加工TEM样品的进一步减薄。也适合传统离子减薄仪所加工样品的后处理。可改善传统离子减薄技术制备的样品质量

3.       采用专利的氩离子聚焦技术。所形成的氩离子束束斑尺寸低至1um,比传统离子减薄仪所使用的氩离子束束斑小2 - 3个数量级。

4.       低能氩离子束,其能量范围 50eV – 2keV,其束流密度高达1mA/cm2。样品表面以原子层速度剥离。

5.       氩离子束扫描方式减薄样品,同时以二次电子探头实时成像。

6.       可在室温或低温模式(最低至-175˚C)下工作

7.       快速样品更换,适合高通量应用

8.       计算机控制、全程序化、使用方便

9.       无污染干式真空系统


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