Model 1051 离子减薄仪

Model 1051 离子减薄仪

添加时间:2015-03-25 12:48:00

1.        两束独立可调节的电磁聚焦氩离子源

2.        高电压用于快速减薄, 低电压用于抛光

3.        加速电压范围:100 eV - 10 keV,连续可调;束流密度:高达 10 mA/cm2

4.        在整个加速电压范围(100 eV 10 keV), 离子束保持一致的小束斑尺寸

5.        10” 触摸屏控制界面。加工参数轻松设置

6.        离子源气体独立、自动控制

7.        离子束入射角度从 -15˚ +10˚连续可调

8.        样品夹具:离子束自动避让样品夹头处,以便离子束以入射加工。

9.        样品夹具及装样器:x-y方向可调(可选项)

10.     样品台:加工过程中样品360˚匀速旋转,或者往复摇摆转动

11.     可选加工完毕自动终止

12.     可选液氮冷冻台

13.     可加装真空气锁,用于样品真空转移


上一个:Model 1020 等离子清洗仪

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