Model 1060 氩离子抛光仪

Model 1060  氩离子抛光仪

添加时间:2015-03-25 12:47:00


1.        两束独立可调节的电磁聚焦氩离子源

2.        高电压用于快速减薄, 低电压用于抛光

3.        加速电压范围:100 eV - 6 keV,连续可调;束流密度:高达 10 mA/cm2

4.        离子束的束斑尺寸可根据具体应用调整

5.        触摸屏控制界面,加工参数轻松设置

6.        离子源气体独立、自动控制

7.        离子束入射角度从 +10˚连续可调

8.        样品台:加工过程中样品360˚匀速旋转,或者往复摇摆转动。

9.        最大样品尺寸:直径25mm,高度15mm

10.     可选加工完毕自动终止

11.     可选液氮冷冻台

 


上一个:Model 1070 NanoClean 等离子清洗仪

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